真空镀膜加工对环境的要求

随着真空镀膜加工的快速发展，各种类型的真空镀膜机逐渐出现。然而，在薄膜均匀性方面，所有真空设备镀膜的均匀性都会受到一些因素的影响。因此，真空镀膜对环境有一定的要求：

基板（基板）表面的清洁处理在真空镀膜过程中非常重要。进入涂装间前，应在电镀前仔细清洁基材，以达到工件脱脂、去污和脱水的目的。

基材表面污染来源于零件在加工、运输、包装过程中粘附的各种灰尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等；潮湿空气中零件表面形成的氧化膜；气体在零件表面被吸收和吸附。真空涂层制造商基本上可以通过脱脂或化学清洗去除这些污垢。

清洁后的清洁表面不得存放在大气环境中，应存放在密闭容器或清洁柜中，以减少灰尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中，可将碳氢化合物蒸汽的吸附降至低。因为这些容器对碳氢化合物的吸附有限。对水蒸气的高度不稳定表面通常应储存在真空干燥箱中。

涂装工艺对环境的基本要求是清理涂装间内的灰尘，建立高清洁度的车间，保持涂装间的高度清洁。在空气湿度高的区域，除了在电镀前仔细清洁真空室中的基板和部件外，还应进行烘烤和脱气。为防止油进入真空室，应注意扩散泵的回油，对加热功率大的扩散泵应采取堵油措施。