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真空镀膜加工pvd的工艺流程

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真空镀膜加工pvd的工艺流程

发布日期:2023-04-06 00:00:00 作者: 点击:0

  真空镀膜pvd的工艺流程?

  真空镀膜加工是一种常见的表面处理技术,广泛应用于电子、光学、机械等行业中。下面是真空镀膜PVD的工艺流程介绍。

  1. 准备工作

  首先,需要对待镀物进行表面清洁和处理,以确保表面光洁度和粗糙度符合要求。同时,需要准备镀层材料和辅助材料,如靶材、保护膜、控制系统等。

真空镀膜加工

  2. 真空抽气

  将待镀物和镀层材料放置在真空室内,进行真空抽气,以将室内气体抽出,降低室内压力,创造真空环境。真空抽气需要控制抽气速度和压力,以防止待镀物表面的氧化和污染。

  3. 靶材烧结

  在真空室内,将所需的镀层材料制成靶材,进行烧结处理,以提高材料的密度和纯度,并保证靶材的稳定性和耐久性。

  4. 靶材镀膜

  将靶材放置在镀膜设备中,并通过电子束、离子束或热蒸发等方式,将靶材材料转化为气态,形成气体束,沉积在待镀物表面,形成镀层。镀膜过程需要控制气体流量、功率、时间等参数,以获得所需的镀层厚度和质量。


本文网址:http://www.dglygx.com/news/171.html

关键词:真空镀膜加工pvd的工艺流程

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