镀膜材料的热稳定性如何？

镀膜材料的热稳定性表现如下：

多层膜的热稳定性要求：在极紫外光源用大口径曲面反射镜上，镀制的周期性Mo/Si多层膜膜厚必须沿其表面呈横向梯度分布以保证较高的EUV反射率。同时，由于极紫外光源用反射镜靠近光源，受到的辐照强度大，多层膜长期处于高热负载使用环境下，薄膜内部温度升高会产生钼硅化合物，多层膜光学性能下降。因此，镀制在极紫外光源用大口径曲面反射镜表面上的Mo/Si多层膜在热稳定性方面也面临较高的要求

提高热稳定性的方法：在提高Mo/Si多层膜反射镜热稳定性的研究中，常见的方法为材料置换法和添加阻隔层法。例如，利用磁控溅射法制备了Mo/C/Si/C多层膜，在500℃、100h条件下退火后仍保持58.5%的EUV反射率，波长仅0.16nm的漂移，显示出优异的热稳定性

C扩散阻隔层的影响：通过添加C阻隔层，有效提高了Mo/Si多层膜的热稳定性，所制备的Mo/C/Si/C多层膜在300℃下退火后反射率仅下降1.8%

热稳定性测试结果：在300℃、2小时条件下退火后，Mo/Si多层膜的周期厚度减小约0.30nm，而Mo/C/Si/C多层膜的周期厚度变化仅为0.03nm，表明C阻隔层可以有效缓解Mo层和Si层界面处的相互扩散，加快了多层膜热稳定性

热稳定性对光学性能的影响：Mo/Si多层膜在300℃、2小时条件下退火后，EUV反射率由64.4%下降~55.4%，而Mo/C/Si/C多层膜退火后反射率仅下降1.8%，波长仅偏移0.02nm，退火前后的测试曲线基本重合，显示出Mo/C/Si/C多层膜具有的热稳定性