真空镀膜加工的常用办法

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　　真空镀膜加工的办法许多：

　　（1）真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气到达约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。

　　（2）阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体（如氩）通入已抽空的室内，保持压强约1.33～13.3Pa，然后将阴极接上2000V的直流电源，便激发辉光放电，带正电的氩离子碰击阴极，使其射出原子，溅射出的原子经过惰性气氛堆积到基体上形成膜。

　　（3）化学气相堆积：经过热分解所选定的金属化合物或有机化合物，取得堆积薄膜的进程。

　　（4）离子镀：实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合，兼有两者的工艺特点。